微纳加工平台（苏州）于2009年1月起正式对外服务，集微米、纳米加工和检测于一体，服务领域包括微纳米电子器件、光电子器件、微纳光机电系统、生物传感器及生物芯片、化合物半导体器件等。
装备建设投资2亿多
工艺大型设备百余台套（包括工艺加工、工艺测试和器件封装）
超净实验室5500平方米
支撑服务团队102人，其中研究员5人，副研究员17人
年均服务企业100余家，大学、研究所200余家
对外服务总机时70396小时，对外服务收入3561万元，对外培训2022人次
中国科学院纳米器件平台、江苏省纳米技术产业产学研联合创新载体、江苏省纳米加工平台、国家自然科学基金重大研究计划纳米制造的基础研究联合开放实验室
微纳加工平台（南昌）结合南昌产业需求，建设定位：应用基础和具有应用前景的科学与技术研究，集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的加工装备的研究基地；具有开发微纳电子器件、微纳光电子器件、微纳光机电系统、生物传感器及生物芯片等多功能的技术支撑体系；具有孵化器功能，为企业全方位开放的服务体系；
微纳加工平台-超净环境
微纳加工平台-开放特色
